公司生產(chǎn)的鉻靶材采用先進(jìn)的熱等靜壓（HIP）工藝生產(chǎn)，產(chǎn)品包括矩形靶、圓弧靶、環(huán)形靶和大長(zhǎng)徑比整體成形管靶等類型，具有純度和密度可控、晶粒細(xì)小均勻、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。
| 鉻靶 | 性能 | ||
| 純度/% | 99.5 | 99.95 | |
| 密度/g/cm3 | ≥7.12 | ≥7.12 | |
| 晶粒度/μm | ≤100 | ≤100 | |
| 金屬雜質(zhì)總和/ppm | ≤5000 | ≤500 | |
| 熱導(dǎo)率/W/m.K | 60 | 100 | |
| 熱膨脹系數(shù)/1/K | 8×10-6 | 8×10-6 | |
| 規(guī)格尺寸/mm | 平面靶 | ≤1500×500 | ≤1500×500 |
| 旋轉(zhuǎn)靶 | 熱等靜壓整體成形 長(zhǎng)度≤2000 厚度≤15 | 熱等靜壓整體成形 長(zhǎng)度≤2000 厚度≤15 | |
2N5微量元素PPM≥7.12g/cm3
| 成分 | 鐵（Fe） | 鋁(Al) | 硅(Si) | 碳(C) | 硫（S） | 氧(O) | 氮(N) |
| 標(biāo)準(zhǔn) | ≤1500 | ≤1200 | ≤1500 | ≤200 | ≤50 | ≤1400 | ≤300 |
| 測(cè)試值 | 980 | 300 | 600 | 62 | 50 | 1200 | 200 |
2N8微量元素PPM≥7.12g/cm3
| 成分 | 鐵（Fe） | 鋁(Al) | 硅(Si) | 碳(C) | 硫（S） | 氧(O) | 氮(N) |
| 標(biāo)準(zhǔn) | ≤800 | ≤300 | ≤400 | ≤200 | ≤50 | ≤1000 | ≤100 |
| 測(cè)試值 | 740 | 78 | 92 | 84 | 50 | 340 | 30 |
3N微量元素PPM≥7.12g/cm3
| 成分 | 鐵（Fe） | 鋁(Al) | 硅(Si) | 碳(C) | 硫（S） | 氧(O) | 氮(N) |
| 標(biāo)準(zhǔn) | ≤500 | ≤100 | ≤150 | ≤150 | ≤30 | ≤500 | ≤100 |
| 測(cè)試值 | 290 | 47 | 80 | 90 | 28 | 450 | 50 |
3N5微量元素PPM≥7.12g/cm3
| 成分 | 鐵（Fe） | 鋁(Al) | 硅(Si) | 銅(Cu) | 鎳（Ｎi) | 碳(C) | 硫（S） | 氧(O) | 氮(N) |
| 標(biāo)準(zhǔn) | ≤100 | ≤50 | ≤50 | ≤10 | ≤50 | ≤50 | ≤30 | ≤150 | ≤80 |
| 測(cè)試值 | 50 | 45 | 40 | 7 | 10 | 24 | 27 | 137 | 30 |
